原子力显微镜 项目是（深圳市财政委员会批复的高端人才科研启动费）项目。

  设备主要用途是：原子力显微镜一种新型纳米显微技术，具有分辨率高、样本制作方便等优点。原子力显微镜的应用范围广泛，它不仅可以在常温大气环境下测量样品的表面微观形貌，还可以测量样品表面的物理、化学、机械、电子、生物等特性，拓展样品纵向的深度信息，被誉为“开启纳米世界的钥匙”，甚至可以在进行纳米微观刻蚀。该设备在所属项目中是作为聚合物刷图案制备与表征的关键设备。

 

该设备项目预算为168万。  

1）投标人”系指响应采购文件要求、参加本次招标采购的供应商。 (1) 投标人必须是来自中华人民共和国或是与中华人民共和国有正常贸易往来的国家或地区（以下简称“合格来源国/地区”）的法人或其他组织，在法律上和财务上独 立、合法运作并独立于招标人和招标机构，具有相关经营范围，有资格和能力提供本采购项目的货物及服务的制造商或代理商（或经销商）。须提供营业执照或企业 注册证明复印件（经营范围必须涵盖本次招标货物，加盖公章）。深圳大学是科教仪器设备减免税单位，如果是境外供货，投标人应有境外供货与外币结算资格或者 是取得了境外供货贸易商的投标授权。 若投标人按照合同提供的货物不是投标人自己制造的，投标人应得到货物制造商同意其在本次投标中提供该货物的正式授权书原件或是合法代理商（若投标人为合法 代理商应出具有效代理证明扫描件，制造商除外）。 （2）证明投标人已具备履行合同所需的财务、技术和生产能力的文件。 （3）投标人须提供设备在国内的销售业绩表、合同复印件或中标通知书复印件（表中应列出设备的出厂日期、用户名称、地址、联系人及联系方式等） （4）参与国际招标的投标人必须在中国国际招标网www.chinabidding.com 注册成为会员，具有深圳市政府采购注册供应商资格。  
2）参与政府采购项目投标的供应商近三年内无行贿犯罪记录（由采购中心定期向市人民检察院申请对政府采购供应商库中注册有效的供应商进行集中查询，投标文件中无需提供证明材料）； 

   

1．采购货物配置功能要求，各设备的主要技术参数、性能规格

技术指标

Specifications

原子力显微镜主机

Atomic force microscope main unit

原子力显微镜的应用范围广泛，可以在常温大气环境下测量样品的表面微观形貌，还可以测量样品表面的物理、化学、机械、电子、生物等特性，拓展样品纵向的深度信息。要求配备聚合物笔印刷功能

The atomic force microscopy has a wide range of applications, and can be used to measure the surface morphology of the samples under normal temperature and atmospheric environment. The physical, chemical, mechanical, electronic, biological and other characteristics of the sample surface can be measured, also expand the depth information of the sample. Required   polymer pen lithography function

1、 工作模式

Working mode

★1.1真正的非接触式

True non-contact mode

1.2接触式

Contact mode

1.3轻敲式

Tapping mode

1.4横向力模式（LFM）

Lateral force mode

1.5力-距离曲线（F-D）

Force distance curve

1.6相位像

Phase image

★2、扫描器 Scanner

2.1闭环平板扫描器

Closed loop feedback scanner

2.2 XY扫描范围：100um×100um

XY scan range: 100 × 100 μm

 2.3分辨率：闭环0.2nm，开环0.01nm

 Resolution:0.2 nm (closed-loop), < 0.01 nm (open-loop)

2.4 Z扫描范围：12um，分辨率：0.001nm

Z Scan range: 12 μm, Resolution: 0.001nm

3、原子力显微镜头部

AFM Head

3.1 聚焦波长：

830nm Focusing wavelength：830nm

3.2工作范围：12um（噪音水平0.03nm）

Moving range：12um  (Noise level: 0.03 nm)

3.3 含：一个高伺服的挠性导向Z扫描器；一个夹装探针的探针手；超亮二极管具有低相干性；预先对准的卡片装配，换探针时无需拿下头部

Including: one high servo flexible steering Z scanner; one probe hand with a clamp probe; a super light diode with a low coherence; a pre aligned card assembly, without taking the head when changing the probe.

★4、聚合物笔印刷头部

Polymer Pen Lithography Head

 4.1聚合物笔印刷功能描述：通过对被转移材料的精确控制，可以在衬底表面构造出任意的纳米结构，达到微/纳米尺度加工精度。Polymer Pen Lithograph Function introduction: By the precise control of the transferred material,the structure can be constructed on the surface of the substrate to achieve the accuracy of micro / nano scale processing.

4.2工作范围：25um

  Working range:25um

4.3 含：一个高伺服的挠性导向Z扫描器；PPL探针手，水平角度：0度；10个PPL探针架

  Including: one high servo flexible steering Z scanner; one PPL probe hand, horizontal angle: 0 degree; ten PPL probe carriages

5、辅助观察系统

  Assistant observation system

5.1样品和探针到成像部件的光路严格同轴

Top view of sample and probe by providing the natural on-axis view from the top with high clarity

5.2 放大倍数：300倍

  Magnification: 300

5.3 分辨率：1um

  Resolution: ~1 μm

5.4 可观察区域：480 × 360 μm

Field of View: 480 × 360 μm

5.5自动聚焦台的垂直行程：20mm

Vertical stroke of the auto focus table:20mm 

6、成像系统

Imaging system

6.1 高分辨率数字变焦可调视场成像部件

Uses high resolution digital imaging system

6.2 最大分辨率：2440*1830

  Effective Picture Elements: 2440 × 1830

6.3 视场：最大1680*1260 μm；最小550*412 μm

  Field of View: max: 1680 × 1260 μm ;min: 550 × 412 μm (variable)

7、XY自动高精度样品台

   XY Motorized XY Stage

★7.1 行程范围：150mm×150mm

     Travels up to 150 mm × 150 mm in both X and Y direction

★7.2 样品尺寸：150mm×150mm

     Sample size: Up to 150 × 150 mm

7.3 样品厚度：20mm

   Sample thickness: Up to 20 mm thick

7.4 支撑重量：500g

    Working sample load: Up to 500 g

8、马达控制Z方向样品台

   Motorized Z Stage

★8.1 Z方向行程：27.5um

     Z travel range: 27.5 mm

8.2 精度：0.1um

    resolution :0.1 μm

8.3 重复性：2um

   repeatability :2 μm

 

9、软件

  Software

 9.1专用的系统控制和数据获取软件，实时调整反馈增益、设置点、驱动频率／振幅／相位；AFM数据分析软件可运行在Windows。

    XEP for data acquisition and optical view. XEI for  image processing, analysis, and presentation. AFM data analysis software can be run in Windows

★9.2 聚合物笔印刷软件

     Software for Polymer Pen Lithography

 9.2.1支持笔画类型：点、线、点阵、线列、图案

     Pattern type: Point, Line, Array of dots, Array of lines, and Bitmap

9.2.2支持笔画控制参数：

    Control windows for patterning parameters

点及点阵的停留时间、Z方向的伸长/提起距离、Z方向的伸长/提起速度；

Point & point array: Dwell time, Z extension/lift height, and Z extension/lift speed

线及线列的停留时间、Z方向的伸长/提起距离、Z方向的伸长/提起速度、划线速度；

Line & line array: Dwell time, Z extension/lift height, Z extension/lift speed, and Line speed

图案每种颜色的停留时间、Z方向的伸长/提起距离、Z方向的伸长/提起速度；

Bitmap: Dwell time, Z extension/lift height, and Z extension/lift speed for each color value

9.2.3 用于调整样品及针尖的水平系统

    Leveling system for sample/tip align

9.2.4 可以打开或保存为XML文件

    File format: XML

10、附件：标准光栅、10根接触式探针和10根非接触式探针、10个样品台

    Accessories: standard grating, 10 contact probes and 10 non-contact probes, 10 sample tables

原子力显微镜环境仓

Environmental Chamber (Glove Box) for AFM

1、 环境仓尺寸：完全包容原子力显微镜主机，控制整体气氛

Box size: Fully inclusive of the atomic force microscopy main unit, control the overall atmosphere

2、 环境仓厚度：≧15mm

Box thick:≧15 mm

3、 环境仓材质：亚克力材质

Box material: acrylic

4、含：乳胶手套、进样室、气体交换口

with latex gloves ,an Antechambe, electrical feed-throughs and gas exchange outlets

原子力显微镜湿度控制系统

Humidity Control System for  AFM

1、 作用：控制环境仓的湿度

Controls the humidity of the Glove Box option

2、 湿度控制范围：从2到90%

Humidity control range: from 2 to 90 %

主动式减震台

Integrated Active Vibration Isolation

1、 作用：通过电磁换能器的直接速度反馈的主动隔振，以消除地面振动。

Provides active vibration isolation with direct velocity feedback via electromagnetic transducers to cancel out the floor vibration.

2、 减震频率：1.2~ 200HZ

Active 1.2 Hz to 200 Hz

标准隔音罩

Acoustic Enclosure  (Bottom Enclosure)

1、 作用：环境密封隔音罩，以阻止外部声和噪音

Environmentally sealed acoustic enclosure to block external acoustic and light noise

2、 尺寸：820×920×1190毫米

Size: 820×920×1190mm

3、 含：大理石落地平台

Including: Marble landing platform

 

 

序号	目录	招标商务需求
（一）免费保修期内售后服务要求
1	免费保修期	产品全部验收合格后（以技术验收合格签字为标准），供方向需方免费提供 1   年上门保修服务。免费保修期内，所有货物保修服务方式均为供方派员到用户货物使用现场进行保修，保修期内产生的一切费用均由供方承担（含需要返原厂修理的所有费用）。供方如不能修理或不能调换，按产品原价赔偿处理。 货物的检修期应以双倍计算延长免费保修期。 质保期  1  年。保修承担方为卖方，技术支持方为：生产商。   Warranty:one year
2	维修响应及故障解决时间	1、 维修响应时间：卖方应在2小时内对用户的服务要求做出响应，需要到现场的2个工作日内到现场，重大问题或其他无法迅速解决的问题应在一周内解决或提出明确解决方案。 Response time: the seller should respond in 2 hours to the user's service request, if necessary,go to the spot in 2 working days, major issues or other problems can not be solved quickly, should be resolved within a week or a clear solution. 2、 售后服务支持方在深圳设立分公司，提供及时服务。 Service support should establish the branch companies in Shenzhen, to provide timely service.
……	其他	投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。
（三）其他商务要求
1	关于交货	（1）合同签订后且免税证明审批通过后 150  个日历日内交货，产品的附件、备品备件及专用工具应随产品一同交付（以下几种情况，交货期经双方协商可以顺延：对于研制设备，研制过程中出现特殊情况）； （2）交货（具体）地点：    深圳大学
		1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。    1、 安装调试：卖方负责将货物送达到买方指定地点，在买方现场安装、调试系统和培训。 Installation: the seller is responsible for the delivery of the goods to the buyer designated place, in the buyer on-site installation, commissioning and training system   1、 仪器到达用户所在地后，在接到用户通知后2周内执行安装调试直至达到验收指标。 After the instrument to the user's location, in 2 weeks after receiving the user's notice to install and debug until the acceptance index. 2、 技术培训：不少于5个工作日；包括仪器的工作原理、操作规程、数据处理、基本维护等。 Technical training: not less than 5 working days; including the working principle of the instrument, operating procedures, data processing, basic maintenance, etc..
2	关于验收	1.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。
		货物抵达目的地后的检验程序和期限 货物抵达交货地点后，供方应及时通知需方进行收货检验，需方接到通知后安排人员对货物的外包装完好性和外包装标示的品牌、型号、规格、数量是否符合要求进行检验，并签署相应的收货报告。 6．产品质量要求标准 （1）提供的货物必须是合法厂家生产和经销的原包装产品（包括零配件），必须具备生产日期、厂名、厂址、产品合格证等。 （2）需方在中国使用该货物或货物的任何一部分时，免受第三方提出的侵犯其专利权、商标权或工业设计权等知识产权的起诉或司法干预。如果发生上述起诉或干预，则其法律责任均由供应商负责。 7．安装、调试和验收标准、程序及期限 （1）供方应委派技术人员进行现场安装、调试，并提供货物安装调试的一切技术支持。 安装调试的具体时间由需方提前3天通知供方。 （2）验收内容包括但不限于：a. 型号、数量及外观；b.货物所附技术资料；c.货物组件及配置；d.货物功能、性能及各项技术参数指标。 （3）供需双方及相关单位共同进行开箱检验。依据相关法律法规要求，邀请国家商检部门进行商检的，商检、检疫费用由供方承担。供方负责免费安装、调试。安装、调试完成后，由供需双方组成验收小组共同进行技术验收和商务验收，验收合格后签署《验收报告》。 产品质量和安装调试检验标准遵照前述标准执行。 （4）验收中如发现有质量不合格或型号规格、数量等与送货清单不符等情况，供方应免费更换或补齐，并承担因更换或补齐货物所发生的进、出口环节综合费用和代理费用以及违约责任。
……
……
……

备注：

1. “（一）免费保修期内售后服务要求”部分，请详细列明免费保修期内的售后服务要求，内容包括但不限于免费保修期限、售后服务人员配备、技术培训方案、质量保证、违约承诺、维修响应及故障解决时间、方案等。

2. “（二）免费保修期外售后服务要求”部分，请详细列明免费保修期外的售后服务要求，内容包括但不限于零配件的优惠率、维修响应及故障解决时间、方案、提供的服务等。

3. “（三）其他商务要求”部分，如有补充，请详细列明。

 

  

序号	货物名称	招标技术要求	投标技术响应	偏离情况	说明

 

  

序号	目录	招标商务条款	投标商务条款	偏离情况	说明
（一）免费保修期内售后服务条款偏离表
1
2
……
（一）免费保修期外售后服务条款偏离表
1
2
……
（三）其他商务条款偏离表
1
2
……

 

   

评标信息

序号	评分项				权重
1	价格				30
2	技术部分				53
	序号	评分因素	权重	评分方式	评分准则
	1	技术保障措施	10	专家打分	在投标文件中详细说明是否有成熟的PPL功能模块并提供应用资料，评审委员会根据响应情况进行横向比较，按有或优100分，良80分，中60分，差0分打分。
	2	技术规格偏离情况	43	专家打分	1. 投标人应如实填写《技术规格偏离表》，评审委员会根据技术需求参数响应情况进行打分，各项技术参数指标及要求全部满足的得100分，每负偏离一项（重要条款）扣10分普通条款扣5分。
3	商务需求				9
	序号	评分因素	权重	评分方式	评分准则
	1	免费保修期内售后服务条款偏离情况	6	专家评分	投标人应如实填写《免费保修期内售后服务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣50分。
	2	资质要求及其他商务需求	3	专家评分	投标人应如实填写《其他商务条款偏离表》，评审委员会根据响应情况进行打分，全部满足要求的得100分，每负偏离一项扣30分。
4		综合实力部分			8
	序号	评分因素	权重	评分方式	评分准则
	1	投标人近三年同类业绩	3	专家评分	提供3个同类业绩即得满分，提供2个得60分，提供1个得30分，未提供的不得分。投标人必须在投标文件中提供每一个完工项目的合同和验收报告，否则不得分
	2	诚信	5	专家评分	根据《深圳市财政委员会关于加强招投标评审环节诚信管理的通知》（深财购[2013]27号）的要求，投标人在参与政府采购活动中存在诚信相关问题的，本项不得分，未出现相关诚信问题的得满分。以深圳市政府采购履约评价库和政府采购行政处罚记录中的资料为准。履约评价无差评且没有处罚记录的得100分，有差评的或有处罚记录得0分。投标人无需提供任何证明材料，由采购中心工作人员向评委会提供相关信息。