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台式三维原子层沉积系统采购需求公示
千尊仪器 qianzun17.com | 最后更新时间为:2015-04-11

项目名称

台式三维原子层沉积系统采购 

是否预选项目

否 

采购人名称

南方科技大学 

采购方式

公开招标 

财政预算限额(元)

1120000 

项目背景

三维原子层沉积系统(ALD)是一种高精度成膜的产品,由于实验室条件限制,一套好的三维原子层沉积系统在保证制备稳定性的同时,还应具有占地面积小、集成度高、成膜质量好,气流、温度均匀性高,操作方便的特点。通过将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法(原子层沉积)制备新型新材料,是最基本的研究仪器。  
 

投标人资质要求

1)具有独立法人资格; 
2)本项目不接受联合体投标,不允许分包。 
3)近三年内(即至少从___年_____月开始起算,供应商成立不足三年的可从成立之日起算)无行贿犯罪记录,由供应商营业执照住所地人民检察院出具 《行贿犯罪档案查询告知函》。告知函自出具之日起2个月内有效,有效期到期日应在本项目公告日之后。投标人须在投标文件中提供《行贿犯罪档案查询告知函》 扫描件,原件备查。 
 

货物清单

序号 采购计划编号 货物名称 数量 单位 备注 财政预算限额(元)
1 PLAN-2014-136001-000249  台式三维原子层沉积系统采购  1.0  项    1120000.0 
 

具体技术要求

 

1. 由于实验室空间限制,ALD系统需为小型台式设计,占地面积最大不能超过820 mm* 640 mm*310 mm;

2. ALD反应腔需为热壁式设计,确保对高比表面积、3-D微纳结构、粉末等样品获得全保型均匀沉积。热壁加热温度需达300 oC

3. 反应腔内高度不小于3 cm, 便于多片样品沉积;

4. 最大沉积衬底直径为8英寸,最大沉积衬底数为9片;

5. 反应腔内温度均匀性不低于99%, 温度准确度± 1oC

6. 8套高速ALD阀门,最短吸合时间为10 ms8组前驱体气路,具备多种材料ALD沉积能力;

7. 2路独立可加热气体支管,分别用于有机金属和氧化剂前驱体的输运,确保前驱体从前驱体瓶到反应腔的输运过程稳定,不产生预混和现象。最高加热温度为200 oC

8. 配备2组可加热前驱体瓶和1组氮气辅助可加热前驱体瓶。用于低蒸发率前驱体和易分解前驱体的输运;

9. 150 ml前驱体瓶,减少更换频率;

10. 水平气体导入喷头,确保反应腔内均匀的气流和温度的分布,从而保证厚度的均匀性;

11. 侧开式的反应腔门设计,便于简单、安全的样品装载和卸载,同时可以将ALD系统通过侧壁与手套箱连用;

12. 具备连续和停留沉积模式;

13. 配有臭氧发生器,提供不低于8%的臭氧浓度;

14. 配有尾气处理系统,用于分解多余前驱体,保护机械泵;

15. 全自动电脑控制,自动工艺控制软件;

16. 薄膜不均匀性< ± 2 % (1δ) 

产品质量:

以新的坚固的木箱或铁箱包装,木箱需有熏蒸证明,适用于长途运输、防锈、防潮、防震,防粗暴装卸,适用于整体吊装。基本设备质量保证包括由于材料缺陷和加工不良造成的电器和机械故障,自验收通过之日起十二个月。

验收程序:

提供成交货物齐全的资料,包括使用说明、安装手册、维修手册、专用工具和相应质检手续证明文件;

对所有货物负责安装集成、调试。仪器到达用户所在地后,在接到用户通知后执行安装调试直至达到验收指标;

对操作人员进行技术培训。使操作人员能掌握有关系统设备的使用、维护和管理,达到能独立进行管理、故障处理、日常测试维护等工作的目的,以保障设备能够正常、安全地运行。安装调试时负责操作人员的培训。

验收指标:

175oC6英寸基片以TMAH2O作为前驱体,沉积10 nm厚度Al2O3,不均匀性低于2%

 
 

商务需求

 

1.交货要求

1.1交货期的要求:签订合同后  120  天(日历日)内。

1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。

2.售后服务的要求

2.1货物免费保修期  1 年,时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。在保修期内,一旦发生质量问题,投标人保证在接到通知24小时内赶到现场进行修理或更换。

2.2投标人应按其投标文件中的承诺,进行其他售后服务工作。

3.关于验收

3.1投标人货物经过双方检验认可后,签署验收报告,产品保修期自验收合格之日起算,由投标人提供产品保修文件。

3.2当满足以下条件时,采购人才向中标人签发货物验收报告:

a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。

b、货物符合招标文件技术规格书的要求,性能满足要求。

c、货物具备产品合格证。

4. ……

5. ……  
 

评标信息

 

序号

评分项

权重

 

1

价格

30

 

2

技术部分

53-64

 

 

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

 

1

技术保障措施

3

专家打分

在投标文件中详细说明保障措施,评标委员会根据响应情况进行横向比较,按优81-100分,良61-80分,中31-60分,差0分打分。

 

2

施工安全保障措施

(可选)

3

专家打分

在投标文件中详细说明保障措施,评标委员会根据响应情况进行横向比较,按优81-100分,良61-80分,中31-60分,差0分打分。

 

3

交货期(完工期)

2

专家打分

在投标文件中详细说明交货期(完工期),评标委员会根据响应情况进行横向比较,按优81-100分,良61-80分,中31-60分,差0分打分。

 

4

售后服务承诺

10-15

专家打分

评标委员会根据投标文件中售后服务承诺情况进行横向比较,按优81-100分,良61-80分,中31-60分,差0分打分。不满足招标文件要求的得0分。

 

5

样品

(可选)

2

专家打分

(一般性、标准化程度高、市场竞争充分的采购项目不允许要求投标人提供大样,特殊的或有特别工艺要求的方可要求投标人提供样品。样品需求只能将设计图纸作为参考,不得放图片和照片)

评标委员会根据样品情况进行横向比较,按优81-100分,良61-80分,中31-60分,差0分打分。

 

6

技术响应情况

28-49

专家评分

在投标文件中详细说明响应情况,评标委员会根据响应情况按优81-100分,良61-80分,中31-60分,差0分打分。

 

3

综合实力部分

4-5

 

 

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

 

1

投标人近三年同类业绩

2

专家评分

提供3个同类业绩即得满分,提供2个得60分,提供1个得30分,未提供的不得分。投标人必须在投标文件中提供每一个完工项目的合同和验收报告,否则不得分。

 

2

社保情况

1

专家评分

请提供近三个月社保证明书扫描件,原件备查。根据总人数评分:优81-100分,良61-80分,中31-60分,差0分打分。未提供的得0分。

 

3

纳税情况

1

专家评分

请提供近一年度纳税证明扫描件,原件备查。根据纳税总金额评分:优81-100分;良61-80分;中31-60;差0分。未提供的得0分。

 

4

奖励、奖项、资质、资格

(可选)

1

专家评分

请提供奖励证明扫描件,原件备查。横向比较优81-100分;良61-80分;中31-60;差0分。未提供的得0分。

 

4

供应商社会责任

2-10

 

序号

评分因素

权重

评分方式

评分准则

1

公益慈善

1

专家评分

提供近3年社会公益慈善和见义勇为情况证明材料,未提供的不得分。

2

不良行为记录

1

专家评分

深圳企业信用网和政府采购行政处罚记录查询企业不良记录,有不良记录的不得分,没有不良记录的得满分。

3

履约评价

(可选)

3

专家评分

根据投标人提交的履约评价及中心履约评价库中资料打分。优得100分,良得80分,中的60分,差的0分。

4

环保执行情况

(可选)

3

专家评分

近三年有一次受到环境主管部门处罚的得0分,无处罚的得满分。投标人提交承诺函,若虚假应标将被废标并报主管部门处理。

5

总部经济

(可选)

1

专家评分

投标人总部在深圳得100分,不在深圳得0分。提供相关政府部门出具的深圳总部企业认定的证明材料,未提供的不得分。

6

节能环保

(可选)

1

专家评分

1、财政部、国家发展和改革委员会制定的《节能产品政府采购清单》;

2、财政部、环境保护部制定的《环境标志产品政府采购清单》

上述清单以截图及网址为准,未提供的不得分。

 
 

其它

 
 

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