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项目名称 |
台式三维原子层沉积系统采购 |
是否预选项目 |
否 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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采购人名称 |
南方科技大学 |
采购方式 |
公开招标 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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财政预算限额（元） |
1120000 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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项目背景 |
三维原子层沉积系统(ALD)是一种高精度成膜的产品，由于实验室条件限制，一套好的三维原子层沉积系统在保证制备稳定性的同时，还应具有占地面积小、集成度高、成膜质量好，气流、温度均匀性高，操作方便的特点。通过将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法(原子层沉积)制备新型新材料，是最基本的研究仪器。
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投标人资质要求 |
1）具有独立法人资格；
2）本项目不接受联合体投标，不允许分包。 3）近三年内（即至少从___年_____月开始起算，供应商成立不足三年的可从成立之日起算）无行贿犯罪记录，由供应商营业执照住所地人民检察院出具 《行贿犯罪档案查询告知函》。告知函自出具之日起2个月内有效，有效期到期日应在本项目公告日之后。投标人须在投标文件中提供《行贿犯罪档案查询告知函》 扫描件，原件备查。 |
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货物清单 |
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具体技术要求 |
1. 由于实验室空间限制，ALD系统需为小型台式设计，占地面积最大不能超过820 mm* 640 mm*310 mm; 2. ALD反应腔需为热壁式设计，确保对高比表面积、3-D微纳结构、粉末等样品获得全保型均匀沉积。热壁加热温度需达300 oC； 3. 反应腔内高度不小于3 cm, 以便于多片样品沉积； 4. 最大沉积衬底直径为8英寸，最大沉积衬底数为9片； 5. 反应腔内温度均匀性不低于99%, 温度准确度< ± 1oC； 6. 8套高速ALD阀门，最短吸合时间为10 ms，8组前驱体气路，具备多种材料ALD沉积能力； 7. 2路独立可加热气体支管，分别用于有机金属和氧化剂前驱体的输运，确保前驱体从前驱体瓶到反应腔的输运过程稳定，不产生预混和现象。最高加热温度为200 oC； 8. 配备2组可加热前驱体瓶和1组氮气辅助可加热前驱体瓶。用于低蒸发率前驱体和易分解前驱体的输运； 9. 150 ml前驱体瓶，减少更换频率； 10. 水平气体导入喷头，确保反应腔内均匀的气流和温度的分布，从而保证厚度的均匀性； 11. 侧开式的反应腔门设计，便于简单、安全的样品装载和卸载，同时可以将ALD系统通过侧壁与手套箱连用； 12. 具备连续和停留沉积模式； 13. 配有臭氧发生器，提供不低于8%的臭氧浓度； 14. 配有尾气处理系统，用于分解多余前驱体，保护机械泵； 15. 全自动电脑控制，自动工艺控制软件； 16. 薄膜不均匀性< ± 2 % (1δ) 。 产品质量： 以新的坚固的木箱或铁箱包装，木箱需有熏蒸证明，适用于长途运输、防锈、防潮、防震，防粗暴装卸，适用于整体吊装。基本设备质量保证包括由于材料缺陷和加工不良造成的电器和机械故障，自验收通过之日起十二个月。 验收程序： 提供成交货物齐全的资料，包括使用说明、安装手册、维修手册、专用工具和相应质检手续证明文件； 对所有货物负责安装集成、调试。仪器到达用户所在地后，在接到用户通知后执行安装调试直至达到验收指标； 对操作人员进行技术培训。使操作人员能掌握有关系统设备的使用、维护和管理，达到能独立进行管理、故障处理、日常测试维护等工作的目的，以保障设备能够正常、安全地运行。安装调试时负责操作人员的培训。 验收指标： 在175oC对6英寸基片以TMA与H2O作为前驱体，沉积10 nm厚度Al2O3，不均匀性低于2% |
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商务需求 |
1.交货要求 1.1交货期的要求：签订合同后 120 天（日历日）内。 1.2投标人必须承担的设备运输、安装调试、验收检测和提供设备操作说明书、图纸等其他类似的义务。 2.售后服务的要求 2.1货物免费保修期 1 年，时间自最终验收合格并交付使用之日起计算。在保修期内，一旦发生质量问题，投标人保证在接到通知24小时内赶到现场进行修理或更换。 2.2投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。 3.关于验收 3.1投标人货物经过双方检验认可后，签署验收报告，产品保修期自验收合格之日起算，由投标人提供产品保修文件。 3.2当满足以下条件时，采购人才向中标人签发货物验收报告： a、中标人已按照合同规定提供了全部产品及完整的技术资料。 b、货物符合招标文件技术规格书的要求，性能满足要求。 c、货物具备产品合格证。 4. …… 5. …… |
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评标信息 |
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其它 |
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附件 |
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